技術(shù)編號：3227211
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。旋轉(zhuǎn)拋磨式準分子激光微細加工方法及系統(tǒng)屬于激光加工，主要涉及微型軸對稱零部件的加工。傳統(tǒng)的機械研磨方式如外圓磨床研磨、旋轉(zhuǎn)平面拋光機拋光、超聲磨削等，雖然對于宏觀機械零件的表面能夠很好的拋光，但是在涉及到微小器件領(lǐng)域時，其依靠機械力接觸式的研磨方式，不僅無法達到加工要求而且會嚴重損害工件使其變形甚至破裂。因此在微觀領(lǐng)域中提高微器件的表面質(zhì)量成為了一個難題，為此我們提出了這種非接觸、無應(yīng)力的光研磨技術(shù)，利用準分子激光冷加工的特性實現(xiàn)微小器械表面的光潔度的提高...
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