技術(shù)編號:3211609
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種超精密機床應(yīng)用的電主軸,具體涉及一種高精度氣浮電主軸。背景技術(shù)工件主軸在加工過程中直接影響工件的運動,所以工件主軸的回轉(zhuǎn)精度直接影響到工件的加工精度,其精度和特性可以評價機床本身的精度,傳動滾動支承與氣浮軸承相比誤差環(huán)節(jié)多、精度不高,另外滾動支撐的發(fā)熱量遠遠大于氣浮軸承。當(dāng)加工對象為精密自由曲面光學(xué)元件時,很難滿足對加工件的面形精度和表面光潔度的要求。氣浮軸承引起機床主軸回轉(zhuǎn)系統(tǒng)的熱變形小,具有良好的回轉(zhuǎn)精度,軸承中支撐回轉(zhuǎn)軸的壓力膜可以起均...
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