技術(shù)編號:3210297
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及脈沖激光系統(tǒng),所述脈沖激光系統(tǒng)用于涉及用激光對表面和/或襯底進行處理的加工工藝,所述處理是在大的面積和高重復(fù)率、高功率和脈沖對脈沖劑量穩(wěn)定性的情況下進行的,并且更具體地,涉及細(xì)線光脈沖傳輸系統(tǒng)。相關(guān)申請本申請要求2004年7月1日遞交的、名稱為“LASER THIN FILMPOLY-SILICON ANNEALING OPTICAL SYSTEM(激光薄膜多晶硅退火光學(xué)系統(tǒng))”、序列號為10/884,101的美國申請的優(yōu)先權(quán),該美國申請是200...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。