技術(shù)編號(hào)：3209584
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及的是一種微納測(cè)量與加工的裝置，具體是一種基于壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器和柔性鉸鏈的二自由度平動(dòng)高帶寬并聯(lián)微動(dòng)平臺(tái)。背景技術(shù)采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器及柔性鉸鏈的二自由度微動(dòng)平臺(tái)具有高精度、高分辨率、二維運(yùn)動(dòng)等優(yōu)點(diǎn)，因而在微機(jī)電系統(tǒng)、超精密測(cè)量、微納米加工、掃描探針顯微鏡、光學(xué)元件制造及生物醫(yī)學(xué)工程等微納應(yīng)用越來(lái)越廣泛。而目前大多數(shù)的納米測(cè)量、納米制造等過(guò)程對(duì)于速度要求越來(lái)越高，例如對(duì)于原子力顯微鏡的掃描頻率，要求達(dá)到幾kHz ;再如 在大規(guī)模的納米制造過(guò)程中，對(duì)于加...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。