技術(shù)編號：3207455
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及具有等離子檢測構(gòu)件的激光加工裝置。背景技術(shù)在光器件制造工序中，在大致圓板形狀的藍(lán)寶石基板等外延基板的表面隔著緩沖層層疊有由η型半導(dǎo)體層和P型半導(dǎo)體層構(gòu)成的光器件層，在所述外延基板的表面被呈格子狀地形成的多條間隔道劃分出的多個區(qū)域形成發(fā)光二極管、激光二極管等光器件，從而構(gòu)成光器件晶片。并且，通過沿間隔道分割光器件晶片，從而制造一個個光器件(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。而且，作為使光器件的亮度提高的技術(shù)，在下述專利文獻(xiàn)2中公開了下述被稱為提尚(Lift-...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。