技術編號：3206006
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及研磨工具的研磨表面的修整過程，包括下列步驟鄰近著至少一部分研磨表面定位至少一部分電極，從而獲得一個修整區(qū)域，在該修整區(qū)域中電極和研磨表面之間具有相對小的間隙；將電解液進給至該修整區(qū)域；經(jīng)由電解液在研磨表面和電極之間產(chǎn)生電流。這種修整方法是公知的并且可以在一部分研磨表面上進行，而在同時，另一部分研磨表面在工件上進行研磨操作。這種一方面修整研磨表面而另一方面同時進行研磨操作的場合通常被稱為ELID，其中ELID表示電解在線修整(ElectroLyti...
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