技術(shù)編號：3199622
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于材料微加工技術(shù)。具體講，涉及。背景技術(shù)如何提高微加工精度的問題越來越引起人們的興趣，提出了各種各樣的微加工方法。其中激光加工技術(shù)是一種具有代表性的方法。超短脈沖激光的燒蝕閾值很精確，因此， 將激光的能量控制在正好等于或略高于燒蝕閾值，則只有高于燒蝕閾值的部分產(chǎn)生燒蝕， 可進行低于衍射極限的亞微米加工。但是，激光加工是利用材料吸收激光能量產(chǎn)生熱進行加工的，在加工過程中，加工區(qū)的材料會發(fā)生溶化，甚至爆炸性沸騰，這在加工區(qū)的邊緣形成熱影響區(qū)和重新凝固結(jié)...
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