技術(shù)編號：3199306
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及儀器儀表(分析儀器)領(lǐng)域，特別是一種在電子顯微鏡的鑰薄片上成型微孔的方法。背景技術(shù)場發(fā)射電子顯微鏡的電子槍是一個微小的高亮度電子源，由涂有氧化鋯(ZrO)的鎢單晶(W (100))肖特基發(fā)射陰極或者冷場發(fā)射陰極、抑制極、吸出極、聚焦極和陽極等組成，其作用是為整個系統(tǒng)提供穩(wěn)定的電子源。當(dāng)處于真空中的陰極鎢絲尖端表面受到IO8V/ cm大小的電子加速電場作用時，鎢尖端表面就會發(fā)射出數(shù)量可觀的電子，此過程稱為場發(fā)射。場發(fā)射的原理是高電場使電子的勢壘產(chǎn)生...
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