技術(shù)編號：3171238
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及用脈沖激光器處理材料的方法，尤其涉及提高脈沖激光輻射去除材料的速率與精度的方法。背景技術(shù)在1毫米量級深度下把材料鉆/切到約100微米截口寬度(縱橫比＜10∶1)，可用普通的機械車床和機床(如開槽鋸)。超過這一級別，一般用電子束或激光機床切割或高精度機加工(雕刻、鉆孔)。大多數(shù)電子束與現(xiàn)有的工業(yè)激光技術(shù)都通過局部熱處理，將要去除的材料加熱到熔點或沸點而把它去除。紫外激光器利用有機(以及某些無機)材料中的分子分解作用而實現(xiàn)激光加工，但這種光分解作用并...
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