技術(shù)編號：3167903
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及修正激光照射裝置的像差的像差修正方法、使用該像差修正方法的激 光加工方法、使用該像差修正方法的激光照射方法、像差修正裝置和像差修正程序。背景技術(shù)激光照射裝置用于激光加工裝置或顯微鏡等的各種光學(xué)裝置中。在使用該激光照 射裝置的激光加工裝置中，具備空間光調(diào)制器(以下稱為SLM)。下述專利文獻(xiàn)1 5中公 開有具備SLM的激光加工裝置。專利文獻(xiàn)1以及2中所記載的激光加工裝置使用SLM，控制激光對加工對象物的照 射位置，專利文獻(xiàn)3中所記載的激光加工裝置使用...
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