技術(shù)編號:3132870
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型公開了一種多光束整形激光加工系統(tǒng),它包括沿激光光路方向依次布置的激光器、柱面凹透鏡、柱面凸透鏡、一維衍射光學元件和聚焦透鏡。本實用新型這種多光束整形激光加工系統(tǒng),能夠改善常見紫外納秒激光加工設(shè)備的加工效果,提高加工效率。專利說明多光束整形激光加工系統(tǒng)[0001]本實用新型涉及一種多光束整形激光加工系統(tǒng),主要用于對芯片的開槽或切割加工。背景技術(shù)[0002]市場對激光切割芯片質(zhì)量的要求越來越高,主要體現(xiàn)在需要更小的熱影響區(qū),更快的切割速度等等,為了實...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。