技術(shù)編號(hào)：3121439
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明包括工業(yè)相機(jī)、工業(yè)激光、晶圓對(duì)位眼、器件圖像等組成背刻溝槽裝置，是利用計(jì)算機(jī)控制下的工業(yè)機(jī)相和激光器，對(duì)高精度要求的晶圓背刻系統(tǒng)的溝槽對(duì)位的方法。1.利用工業(yè)相機(jī)對(duì)位正面對(duì)位眼和器件，計(jì)算出溝槽位置，送激光校正“十字”線位置。2.對(duì)位相機(jī)取左對(duì)位眼圖像，計(jì)算出晶圓的基礎(chǔ)偏位，取右對(duì)位眼圖像，確認(rèn)晶圓的基礎(chǔ)偏位。3.再將晶圓的基礎(chǔ)偏位補(bǔ)償給五位對(duì)中臺(tái)。補(bǔ)償給激光，背刻左右對(duì)眼位的“十字”線，計(jì)算出器件圖像與對(duì)位眼圖像的偏差，為非對(duì)位眼的器件圖像作補(bǔ)償。...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。