技術編號：3115589
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種，該方法克服了飛秒激光加工寬禁帶材料時加工效率有限，傳統(tǒng)的材料改性方法不能精確調節(jié)激光加工中的電子狀態(tài)，并且會改變材料整體物理性質的問題，使用高能聚焦離子注入技術和精確設計的掩模板或光刻膠掩模，完成對目標區(qū)域的局部離子注入，并通過精確調節(jié)離子的種類、濃度和分布，控制目標區(qū)域形成的納米團簇的形態(tài)，從而調控其在與激光相互作用時的電子狀態(tài)，實現(xiàn)對材料高效率、選擇性加工的目的。本發(fā)明方法若大規(guī)模應用于生產(chǎn)，將會大幅度提高飛秒激光對材料的加工效率，產(chǎn)生...
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