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層疊晶片的加工方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3112825

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本發(fā)明提供,用于在晶片上層疊有芯片的層疊晶片中將芯片側(cè)粘貼在粘合片上的狀態(tài)下,也能夠?qū)⒕指畛筛鱾€(gè)芯片。該的特征在于,至少在實(shí)施分割步驟之前具有如下固定步驟在與外周剩余區(qū)域?qū)?yīng)的區(qū)域上,在粘合片和晶片的表面的之間配設(shè)固定劑,將晶片的外周剩余區(qū)域固定在粘合片上。專(zhuān)利說(shuō)明[0001]本發(fā)明涉及在晶片上配設(shè)有多個(gè)芯片的。背景技術(shù)[0002]以往,作為將多個(gè)半導(dǎo)體器件集成到一個(gè)封裝中的方法之一,三維安裝是已知的。該三維安裝是將多個(gè)半導(dǎo)體器件芯片在三維方向上層疊并...
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