技術(shù)編號：3112821
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種激光打孔方法及激光打孔系統(tǒng)，該激光打孔方法包括孔邊界形成步驟輸出脈沖激光光束，在待打孔基板上進(jìn)行掃描，形成預(yù)成型孔的邊界切割槽；孔內(nèi)材料加熱步驟輸出CO2激光光束，使CO2激光光束與預(yù)成型孔相對準(zhǔn)，對預(yù)成型孔的基板材料進(jìn)行預(yù)定時間的加熱；孔成型步驟對預(yù)成型孔的基板材料進(jìn)行冷卻，使基板材料發(fā)生變形而能夠從待打孔基板上脫落。本發(fā)明所述方法及系統(tǒng)，能夠解決現(xiàn)有技術(shù)的激光打孔方式無法適應(yīng)于超高化學(xué)強(qiáng)度的基板，以及孔加工表面品質(zhì)差的問題。專利說明激光打...
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