技術(shù)編號：3112637
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種多光束整形激光加工系統(tǒng)，它包括沿激光光路方向依次布置的激光器、柱面凹透鏡、柱面凸透鏡、一維衍射光學(xué)元件和聚焦透鏡。本發(fā)明這種多光束整形激光加工系統(tǒng)，能夠改善常見紫外納秒激光加工設(shè)備的加工效果，提高加工效率。專利說明多光束整形激光加工系統(tǒng)[0001]本發(fā)明涉及一種多光束整形激光加工系統(tǒng)，主要用于對芯片的開槽或切割加工。背景技術(shù)[0002]市場對激光切割芯片質(zhì)量的要求越來越高，主要體現(xiàn)在需要更小的熱影響區(qū)，更快的切割速度等等，為了實現(xiàn)這些要求，...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。