技術(shù)編號：3111505
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明的多晶CaF2構(gòu)件由下述組合體構(gòu)成，所述組合體是將由CaF2構(gòu)成的復(fù)數(shù)個多晶體壓接而成的。專利說明多晶CaF2 [0001]本發(fā)明涉及多晶CaF2構(gòu)件、用于等離子體處理裝置的構(gòu)件、等離子體處理裝置及聚焦環(huán)(focus ring)的制造方法。 背景技術(shù) [0002]一直以來，作為用于半導(dǎo)體制造裝置的耐等離子體構(gòu)件，由復(fù)數(shù)個構(gòu)件構(gòu)成的聚焦環(huán)是已知的(例如專利文獻1、2)。 [0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻 [0004]專利文獻1日本特開2009-2...
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