技術(shù)編號：3084425
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種直驅(qū)式微動平臺，包括底座及設(shè)于底座上的工作臺。工作臺內(nèi)設(shè)有三組直線模組，三組直線模組呈圓周陣列形式固定于底座上，且每兩組直線模組的夾角均為60度。直線模組包括音圈電機(jī)及與音圈電機(jī)連接的移動機(jī)構(gòu)，音圈電機(jī)設(shè)于底座上，移動機(jī)構(gòu)連接于工作臺。直線模組的一側(cè)電性連接有光柵尺，另一側(cè)電性連接有光電開關(guān)。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，減小了微動平臺的運(yùn)動慣量，消除中間傳動機(jī)構(gòu)環(huán)節(jié)的彈性形變及間隙、效率高，精度高，響應(yīng)快。專利說明直驅(qū)式微動平臺[0001]本發(fā)明涉及精...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。