技術(shù)編號：3079102
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種，是在表面上具備金屬膜的被加工基板的，其特征在于，具有第一金屬膜剝離步驟，沿第一直線對金屬膜照射被散焦的脈沖激光束，將金屬膜剝離；第二金屬膜剝離步驟，沿與第一直線正交的第二直線對金屬膜照射被散焦的脈沖激光束，將金屬膜剝離；以及裂紋形成步驟，對被加工基板的剝離了金屬膜的區(qū)域照射脈沖激光束，在被加工基板上形成裂紋；在第一直線與第二直線交叉的區(qū)域中，在第一金屬膜剝離步驟或第二金屬膜剝離步驟中任一方的步驟中，將脈沖激光束的照射中斷。專利說明[0001]本申請基...
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