技術(shù)編號:3079061
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了一種激光處理方法,該方法包含有以下步驟將激光束引導至工件;在激光束和工件之間引起相對移動。其中將激光束引導至工件的步驟包括將激光束聚焦在工件內(nèi)部,直到內(nèi)部損壞形成在工件內(nèi)部,而碎裂從內(nèi)部損壞延展至工件的至少一個表面以在工件上形成表面裂紋。另外,在激光束和工件之間引起相對移動的步驟是如此設(shè)置以致于工件上的表面裂紋沿著工件上的分割線延展。本發(fā)明還公開了一種激光處理裝置。專利說明激光處理的方法和裝置[0001]本發(fā)明申請涉及一種激光處理的方法和裝置,...
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