技術(shù)編號：3072564
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及激光加工技術(shù)，詳細(xì)來說是涉及在批量生產(chǎn)方面性能出色的激光加工技術(shù)。背景技術(shù) 作為將基板上形成的膜消除或在基板上打孔的加工技術(shù)，采用在使對象體停止的狀態(tài)下，將多根光束照射在一點上的方法?？墒牵@樣的方法，由于是對每一點逐一進(jìn)行加工，當(dāng)有大量加工點的時候，就需要在每個加工點重復(fù)進(jìn)行對象體的移動、停止(加減速)動作，因而加工需要大量的時間。對此，也有將從激光發(fā)生裝置照射出來的光束分成多個光束，從而縮短加工時間的方法。可是，從激光發(fā)生裝置的輸出極限考慮，...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。