技術(shù)編號：3072016
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及到一種使用激光束對半導(dǎo)體膜進(jìn)行退火的方法(此后稱為激光退火)以及一套實現(xiàn)該目的的激光裝置(更具體地，一套包括激光源和光學(xué)系統(tǒng)的裝置，其中光學(xué)系統(tǒng)用于將從激光源中發(fā)射的激光束引導(dǎo)到需要處理的物體上)。背景技術(shù) 近年來，薄膜晶體管(此后稱為TFT)有了很大的發(fā)展，特別地，采用多晶硅膜(多晶硅膜)作晶體半導(dǎo)體膜的TFT吸引了很多的注意。尤其地，在液晶顯示器件(液晶顯示)或EL(電致發(fā)光)顯示器件中，這些TFT被用作開關(guān)像素的元件和構(gòu)成控制像素的驅(qū)動電路...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。