技術(shù)編號：3067911
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及將非晶態(tài)半導(dǎo)體薄膜改性成多晶態(tài)半導(dǎo)體薄膜用的半導(dǎo)體薄膜的改性方法、改性后的半導(dǎo)體薄膜的評價方法、用該半導(dǎo)體薄膜形成的薄膜晶體管、以及包括具有用該薄膜晶體管構(gòu)成的電路的平板型圖像顯示裝置的半導(dǎo)體裝置。背景技術(shù) 例如液晶顯示裝置等的平板型圖像顯示裝置具有在適合采用玻璃的絕緣基板(以下也簡稱基板)上形成的半導(dǎo)體薄膜上制成的像素電路和驅(qū)動電路。作為構(gòu)成像素電路和驅(qū)動電路的驅(qū)動元件，多半采用薄膜晶體管(TFT)。作為該薄膜晶體管的活性層，近年來代替非晶態(tài)半...
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