技術編號：30545
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。專利摘要本實用新型公開了一種掃描激光顯微鏡，包括恒溫器、三維位移平臺、光學系統(tǒng)和電學系統(tǒng)；在所述的恒溫器內設有恒溫源，所述的恒溫源與氮流或氦流連通；在所述的恒溫器內底座上設三維位移平臺，光學系統(tǒng)的末端設在三維位移平臺上，樣品安裝在恒溫源上；電學系統(tǒng)通過設在恒溫器上的電學接口為恒溫器內提供工作所需的電學條件。該掃描激光顯微鏡，能夠用于研究尺寸小、工作溫度有一定要求的器件內部發(fā)生的熱學和電學相關的物理現(xiàn)象，滿足使用需求。將位移平臺集成在恒溫器內部，減少了設備的體積。通過恒溫器上的各窗口，可在測量樣品內存電學參量分布的同...
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