技術(shù)編號:3051789
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種激光微加工設(shè)備,尤其涉及一種。背景技術(shù)由于IT產(chǎn)業(yè)(小型cell)及電視(大型cell)等不同用途的電子產(chǎn)品持續(xù)增長需求,對于玻璃基底或PET基底的不可視區(qū)域上導(dǎo)電薄膜蝕刻有較高刻蝕功能性要求。具體體現(xiàn)在蝕刻導(dǎo)電薄膜厚度在200nm 30um范圍內(nèi)變化時,可以制造出穩(wěn)定的較小線寬、 功能完好的導(dǎo)電膜層線條要求。傳統(tǒng)的導(dǎo)電膜層線條功能的實現(xiàn)是運用絲網(wǎng)印刷方式,不可視區(qū)域?qū)щ姳∧げ牧嫌∷挾茸罴?xì)只能達(dá)到lOOum,且良品率較低,線性不均勻,更換不...
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