技術(shù)編號：3023677
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種，屬精密微細(xì)電化學(xué)加工領(lǐng)域。背景技術(shù)隨著各種精密、微細(xì)技術(shù)和微機電系統(tǒng)(MEMS)的發(fā)展，微米級以及納米級細(xì)長軸的制備方法正變得日益重要。大長徑比微米級以及納米級軸可廣泛應(yīng)用于各種微細(xì)加工技術(shù)、微測量技術(shù)、航空宇航技術(shù)和生物醫(yī)學(xué)等前沿技術(shù)。目前，微米級大長徑比細(xì)長軸的主要制備方法為單晶金剛石微車削技術(shù)、線電極磨削技術(shù)(WEDG)、浸液電化學(xué)加工(ECM)方法、單脈沖放電加工(OPED)和聚焦離子束(FIB)等技術(shù)。而對于納米級細(xì)長軸的制備方法...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。