技術(shù)編號:3007919
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種用激光切除材料的方法,其中,產(chǎn)生激光脈沖序 列,并且用該激光脈沖序列照射待切除的材料區(qū)域。本發(fā)明的另一方面涉及一種切除材料的設(shè)備,包括 -用于產(chǎn)生激光脈沖序列的裝置 -用于將激光脈沖引導至材料的待切除區(qū)域上的裝置背景技術(shù)已知將激光脈沖,特別是脈沖寬度在約10"5s到5x 10^s范圍內(nèi) 的超短激光脈沖應(yīng)用于高精度的激光微加工。在美國專利US 5,656,186(歐洲專利0 754 103 B1,申請日為1994 年4月8日,"用于控制激光誘導...
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