技術(shù)編號(hào)：3004857
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于制造集成器件芯片的系統(tǒng)和方法，該集成器件芯片例如為形成在藍(lán)寶石襯底上的集成電路和包括二極管激光器芯片的激光器芯片。特別地，本發(fā)明是為利用固態(tài)UV激光器對(duì)藍(lán)寶石襯底劃線，以及將被劃線的藍(lán)寶石襯底分割成芯片而提出。背景技術(shù) 藍(lán)寶石Al2O3被作為襯底應(yīng)用于各種器件。藍(lán)寶石是一種堅(jiān)硬材料，其光學(xué)透明、不導(dǎo)電、并且是熱的良導(dǎo)體。它已經(jīng)成為了激光二極管制造中的優(yōu)選襯底材料。特別是，藍(lán)光激光器和其它基于氮化鎵GaN及相關(guān)材料的結(jié)構(gòu)都是制造在大體積的藍(lán)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。