技術(shù)編號:3002741
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及作為加工工具具有薄壁環(huán)狀切削刀片的切削裝置這樣的加工裝置,更詳細(xì)地說,涉及具有被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的安裝部件、安裝在該安裝部件上的工具支持部件、以及被固定在安裝部件上且將工具支持部件固定在安裝部件上的固定部件的加工裝置。背景技術(shù) 作為具有被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的加工工具的精密加工裝置的典型例,可以例舉適用于半導(dǎo)體晶片切削的、也被稱為切丁機(dicer)的切削裝置。這樣的切削裝置如日本特開2002-219648號公報和特開2003-165036號公報中公開的那樣,具有可...
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