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基于形狀記憶材料粗動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的精密微動(dòng)平臺(tái)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2998281

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本發(fā)明創(chuàng)造屬于微動(dòng)平臺(tái)技術(shù),主要涉及一種基于形狀記憶材料驅(qū)動(dòng)的精密微動(dòng)T D ο背景技術(shù)精密位移技術(shù)在近代尖端工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域占有極其重要的地位,廣泛應(yīng)用于微量進(jìn)給、光纖對(duì)接和精密、超精密加工等要求精細(xì)操作的領(lǐng)域。精密位移依靠驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)精密微動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn),微動(dòng)平臺(tái)的微動(dòng)驅(qū)動(dòng)多采用壓電驅(qū)動(dòng)器,壓電驅(qū)動(dòng)器是近幾年發(fā)展起來(lái)的新型微位移器件,它以體積小、驅(qū)動(dòng)力大、分辨率高、易于控制和輸出位移小等優(yōu)點(diǎn)作為驅(qū)動(dòng)元件在精密機(jī)械當(dāng)中得到了廣泛的應(yīng)用。但是,目前微...
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