技術(shù)編號(hào)：2988963
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種通過施加能穿過工件的激光束例如脈沖激光束在工件的內(nèi)部形成退化層的激光束加工機(jī)?，F(xiàn)有技術(shù)在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)工藝中，通過以格狀圖案設(shè)置在包括適當(dāng)襯底例如硅襯底、藍(lán)寶石襯底、碳化硅襯底、鉭酸鋰襯底、玻璃襯底或者石英襯底的晶圓的正面上的稱為“街道”的分隔線分隔多個(gè)區(qū)域，并且在每個(gè)分隔區(qū)形成電路(功能元件)例如IC或者LSI。通過沿著分隔線切割晶圓以將它分隔成每個(gè)在其上都形成有電路的區(qū)域來制造各個(gè)半導(dǎo)體器件。為了分隔晶圓，提出了各種使用激光束的方法。美...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。