技術(shù)編號(hào)：2987504
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及可以在激光加工位置檢測(cè)出在以往的裝置中無(wú)法檢測(cè)出 的被加工物的立體形狀不良品以及該立體形狀檢查、同時(shí)可以以高精度 將激光加工時(shí)的激光的焦點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)于加工位置的激光加工裝置。背景技術(shù)以往，釆用通過(guò)對(duì)被加工物射出激光來(lái)對(duì)被加工物進(jìn)行蒸發(fā)去除或 焊接的激光加工。根據(jù)該激光加工，通過(guò)將能量密度最大的激光的焦點(diǎn) 對(duì)準(zhǔn)于被加工物的加工位置，對(duì)加工位置的被加工物進(jìn)行蒸發(fā)去除或熔 融，而可以進(jìn)行被加工物的切割、開孔或焊接等，目前在半導(dǎo)體設(shè)備及 其它電子部件制造中大多...
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