技術(shù)編號：2979243
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開內(nèi)容整體上涉及離子注入系統(tǒng)，且更特別地，涉及控制離子注入機中的離子束。背景技術(shù)典型的離子束注入機包括用于從源材料產(chǎn)生帶正電荷的離子的離子源。所產(chǎn)生的離子形成束并被沿著預定束路徑弓I導至注入站。離子束注入機可以包括在離子源和注入站之間延伸的束形成成形結(jié)構(gòu)。束形成成形結(jié)構(gòu)保持離子束并包圍細長內(nèi)腔或通道，所述束在途中經(jīng)過該細長內(nèi)腔或通道到達注入站。當操作注入機時，該通道可以被抽成真空，以降低由于離子與殘留氣體分子碰撞而導致離子從預定束路徑偏轉(zhuǎn)的可能性。...
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