技術(shù)編號(hào)：2979080
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種供氣系統(tǒng)，尤指一種用于輝光放電離子源裝置的供氣系統(tǒng)。 背景技術(shù)中國實(shí)用新型專利“一種輝光放電離子源裝置”(授權(quán)公告號(hào)為CN201590398U， 申請(qǐng)?zhí)枮?00920246956.4，申請(qǐng)日為2009年11月10日)中公開的輝光放電離子源裝置 屬于低氣壓氣體放電，放電區(qū)處于非熱平衡狀態(tài)，靠高能電子碰撞、亞穩(wěn)態(tài)Ar粒子的潘寧 (Penning)碰撞電離，其激發(fā)能量高、電離度高，周期表上的絕大多數(shù)元素均能被其電離，其 是質(zhì)譜系統(tǒng)的一種很好的離...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。