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電子發(fā)射器件和電子源及其成象裝置和它們的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2968887

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本發(fā)明涉及電子發(fā)射器件并涉及電子源和使用這些器件的成象裝置,還涉及這些器件和裝置的制造方法。已知有兩種類型的電子發(fā)射器件,熱電子陰極型和冷陰極型。其中,冷陰極型是指包含場發(fā)射型(以下稱為FE型)器件,金屬/絕緣層/金屬型(以下稱為MIM型)電子發(fā)射器件和表面導電電子發(fā)射器件的器件。FE型器件的例子包括由W.P.Dake & W.W.Dolan,“Field emission”,Advanced in EletronPhysics,8,89(...
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