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制造電子發(fā)射器件及含該器件的電子源和成象裝置的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2964908

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本申請(qǐng)是申請(qǐng)日1995年8月29日、申請(qǐng)?zhí)?5116828.2、發(fā)明名稱為“電子發(fā)射器件、電子源和圖象形成裝置及其制造方法”申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。本發(fā)明涉及一種制造電子發(fā)射器件的方法及制造包括所述電子發(fā)射器件的電子源和圖象形成裝置例如顯示裝置或曝光裝置的方法。已知的電子發(fā)射器件有兩類熱陰極型和冷陰極型。其中,冷陰極發(fā)射型包括場(chǎng)發(fā)射型(以后稱為FE型)器件,金屬/絕緣層/金屬型(以后稱為MIM型)電子發(fā)射器件以及表面?zhèn)鲗?dǎo)電子發(fā)射器件。FE型器件的例子包括由W·P·...
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