技術(shù)編號(hào):2962084
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般地涉及用真空濺射法在襯底上淀積薄膜的技術(shù),更具體地涉及借助用兩靶的這類磁控管對(duì)導(dǎo)電膜的淀積。用濺射法在各種襯底上淀積薄膜有許多應(yīng)用場合。這類應(yīng)用之一是在諸如建筑物窗戶玻璃車輛防風(fēng)玻璃之類的大襯底上進(jìn)行涂敷。為控制不同波長的光帶的反射和/或透射,將若干薄膜層一層疊在另一層上地彼此層疊在一起。這些層的每一層是借助根據(jù)普通生產(chǎn)技術(shù)(common commercial technique)的在真空室內(nèi)濺射形成的。在這類應(yīng)用中,最好形成薄膜時(shí)精心地控制其在...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。