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具有多個(gè)陽極的雙圓筒靶磁控管的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2962084

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本發(fā)明一般地涉及用真空濺射法在襯底上淀積薄膜的技術(shù),更具體地涉及借助用兩靶的這類磁控管對(duì)導(dǎo)電膜的淀積。用濺射法在各種襯底上淀積薄膜有許多應(yīng)用場合。這類應(yīng)用之一是在諸如建筑物窗戶玻璃車輛防風(fēng)玻璃之類的大襯底上進(jìn)行涂敷。為控制不同波長的光帶的反射和/或透射,將若干薄膜層一層疊在另一層上地彼此層疊在一起。這些層的每一層是借助根據(jù)普通生產(chǎn)技術(shù)(common commercial technique)的在真空室內(nèi)濺射形成的。在這類應(yīng)用中,最好形成薄膜時(shí)精心地控制其在...
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  • 高老師:1.電力電子及應(yīng)用 2.嵌入式系統(tǒng)應(yīng)用