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用于可轉(zhuǎn)動磁控管的密封套的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2962083

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本發(fā)明總的涉及一種用于通過真空鍍膜法涂覆基片制品的磁控管設(shè)備,更具體地說,是涉及用于其中的密封裝置。本發(fā)明具體地說是涉及一種用于可轉(zhuǎn)動的磁控管設(shè)備中的密封套和使用該設(shè)備的方法。對大面積的基片、例如建筑玻璃、汽車擋風(fēng)玻璃等的涂覆一直是通過使用了平面磁控管的真空鍍膜法完成的。這種涂覆層包括多層廣泛用在商用建筑玻璃上的防陽光涂覆層。由于待涂覆的玻璃具有大的表面積,涂覆機(jī)械設(shè)備在尺寸上就變得非常大。近來,已研制出一種用于這種涂覆應(yīng)用的可轉(zhuǎn)動磁控管設(shè)備,以克服平面磁...
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