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寬束冷陰極離子源的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2959759

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本實(shí)用新型涉及薄膜輔助淀積裝置,用于薄膜的離子束輔助淀積的寬束冷陰極離子源,包括冷陰極、陽(yáng)極、永磁體、多孔引出柵等組成。目前在離子束輔助淀積技術(shù)中使用的寬束離子源多為考夫曼(Kaufman)離子源,有關(guān)考夫曼離子源的技術(shù)可在美國(guó)專利4,446,403(1984年)號(hào)等文獻(xiàn)上見(jiàn)到。其優(yōu)點(diǎn)是產(chǎn)生的離子能量和束流密度可調(diào)節(jié)范圍大,離子束徑大,離子束束流密度分布均勻等;不足之處是由于用鎢絲等作為陰極,陰極的工作壽命較短,如使用氬氣為工作氣體時(shí),陰極壽命約一百小時(shí);...
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