技術(shù)編號：2951942
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。電流感應(yīng)裝置本實用新型涉及半導(dǎo)體工藝中使用的設(shè)備，尤其涉及一種電流感應(yīng)裝置。背景技術(shù)隨著集成電路器件關(guān)鍵尺寸的逐步減小，對器件電性的穩(wěn)定性和均勻性的要求越來越高。在離子注入制程中，需要更高的精確性和穩(wěn)定性。因此，需要對離子注入的劑量進(jìn)行監(jiān)控。在離子注入過程中，注入的劑量是通過電流感應(yīng)器感應(yīng)電流的大小， 然后乘以感應(yīng)時間，再除以一個電子的電量，就知道注入了多少個電子N= I*T/E。其中，N是注入的電子數(shù)，I是感應(yīng)電流，T是感應(yīng)時間，E是一個電子的電量?；蛘?..
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。