技術(shù)編號:2951762
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于對金屬基底或絕緣基底進行等離子體處理的方法,特別是用 于大規(guī)模生產(chǎn)中的清潔和/或加熱,所述金屬基底或絕緣基底可以是線、梁、管、板、所有類 型橫斷面的型材、條和/或板材的形式,而且也可以是設(shè)置在支架上的部件,例如金屬鉤或 籃,它們借助于任意類型的一般裝置一例如一排輥子或者單軌傳輸系統(tǒng)一在處理區(qū)域 中被傳輸。在這個方法中,待處理基底在具有一處理區(qū)域的真空室中沿的給定方向運動,在 所述處理區(qū)域中在電極和基底之間靠近所述基底的表面產(chǎn)生放電,所述放...
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