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液態(tài)金屬離子源、二次離子質(zhì)譜儀、二次離子質(zhì)譜分析方法及其應(yīng)用的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2950725

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本發(fā)明涉及液態(tài)金屬離子源、二次離子質(zhì)譜儀以及二次離子質(zhì)譜分析方法及其應(yīng)用。背景技術(shù)二次離子質(zhì)譜特別指所謂的靜態(tài)二次質(zhì)譜(SSIMS)。能量豐富的一次離子束直射 到待分析的基體表面。當(dāng)轟擊基體時(shí),一次離子束將隨后要分析的所謂二次離子從該材料 中撞擊出來(lái)。通過(guò)這種分析,能夠確定表面的材料。為了獲取表面上的特定物質(zhì)分布信息, 一次離子束可對(duì)該表面進(jìn)行掃描。為了獲取縱深信息,可將一次離子束直射到表面的一個(gè) 特定位置,經(jīng)過(guò)一段時(shí)間后,移去該處表面,以便暴露并分析更深...
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