技術(shù)編號(hào)：2949204
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件品質(zhì)檢測(cè)中用的樣品夾具，具體涉及制備電子顯微鏡檢測(cè)樣品用的夾具。背景技術(shù) 在半導(dǎo)體器件制造中，掃描電子顯微鏡(SEM)已經(jīng)成為監(jiān)測(cè)產(chǎn)品質(zhì)量不可或缺的工具，隨著半導(dǎo)體器件制造廠生產(chǎn)規(guī)模的不斷擴(kuò)大，產(chǎn)量不斷提高，需要檢測(cè)的樣品數(shù)量也不斷增加，作為產(chǎn)品品質(zhì)監(jiān)測(cè)工具的掃描電子顯微鏡(SEM)的負(fù)擔(dān)也越來越重。電子顯微鏡屬于貴重的精密設(shè)備，半導(dǎo)體器件生產(chǎn)廠不可能增加更多的電子顯微鏡。在不增加設(shè)備和人力的情況下，要想完成越來越多的產(chǎn)品品質(zhì)監(jiān)測(cè)，就只...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。