技術編號：2949116
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及像增強器、變相管等真空光電器件制作領域，具體涉及。背景技術光電陰極在進入真空系統(tǒng)前的準備過程以及工序之間的傳遞過程，其表面將吸附有雜質和殘余氣體，對制備高質量的光電陰極極為不利。為了獲得高量子效率的光電陰極，陰極窗表面必須達到原子級清潔表面。常用的表面清潔方法有光清潔加熱法、熱子加熱法和離子轟擊法等。光清潔法是一種非接觸式的陰極表面清潔方法，但存在測量溫度的不準確性；熱子加熱法在加熱清潔表面的過程中，由于加熱子材料高溫時的揮發(fā)會造成陰極表面的二次...
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