技術編號：2945575
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及ー種在帶電粒子射束設備中保護輻射檢測器的方法，該設備包括用于產(chǎn)生帶電粒子的射束的源、包括用于照亮樣本的透鏡的聚光器系統(tǒng)、包括用于在檢測器系統(tǒng)上形成放大的樣本圖像的透鏡的投影系統(tǒng)，該檢測器系統(tǒng)包括輻射檢測器，該方法包括 使用第一參數(shù)集合將檢測器暴露于輻射的步驟，該參數(shù)集合包括聚光透鏡設置、投影透鏡設置、帶電粒子射束能量和射束電流， 要求改變參數(shù)的步驟。背景技術根據(jù)透射電子顯微鏡方法(TEM)，這種方法是已知的。在TEM中，電子槍利用通常在5...
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