技術編號：2945167
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及用于將防著板安裝在等離子體處理裝置及離子束照射裝置中所使用的等離子體生成容器內部的防著板支承部件以及具有該防著板支承部件的離子源。背景技術在被稱為等離子體CVD裝置或PLAD的等離子體摻雜裝置等等離子體處理裝置、離子注入裝置及離子束定向裝置等離子束照射裝置中，為了防止等離子體生成容器內壁受到腐蝕及高效地進行等離子體生成容器內的清洗，沿著等離子體生成容器內壁設置有如專利文獻I的圖3所示的、可裝拆的襯里(也稱為襯板、防著板)。專利文獻I 日本專利公開...
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