技術(shù)編號(hào)：2944224
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。高能次生電子檢測(cè)器 本發(fā)明涉及高能次生電子檢測(cè)器。因此，本發(fā)明的領(lǐng)域是分析等離子體中次生電子的領(lǐng)域。本發(fā)明在以等離子體浸入模式工作的離子注入機(jī)中得到特別有利的應(yīng)用。因此，基體的離子注入包括將基體浸沒到等離子體中，并以幾十伏到幾十千伏的負(fù)電壓極化(一般小于100千伏)，這樣產(chǎn)生能夠使等離子體的離子向基體加速的電場(chǎng)，以使得離子注入到基體中。這樣注入的原子叫做摻雜物。離子的穿透深度由其加速能量確定。該深度一方面取決于施加到基體的電壓，另一方面取決于離子和基體各自...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。