技術(shù)編號：2935728
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及放電燈保持機(jī)構(gòu)，尤其涉及安裝到燈座的安裝作業(yè)困 難的大型放電燈的放電燈保持機(jī)構(gòu)。背景技術(shù)近年來，在半導(dǎo)體或液晶的曝光、其它的細(xì)微加工領(lǐng)域，作為照 相平板印刷的光源，利用使用短電弧放電燈的曝光技術(shù)。照相平板印刷的光源可使用高效放射光掩模具有感度的波長365nm(i線)的光的放電燈，或者在液晶或者印刷基板的曝光中，可使 用放射波長350nm-450nm的光的放電燈。放電燈封入有水銀，作為發(fā) 光物質(zhì)，并封入有氬、氙等稀有氣體作為啟動用氣體。光源裝置除了...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。