技術編號：2935482
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明應用于快速掃描電子顯微鏡設備。尤其涉及用于低能觀察高阻樣品 和集成電路樣品的掃描電子顯微鏡技術。背景技術掃描電子顯微鏡的典型結(jié)構(gòu)包括 一個電子源； 一個鏡筒，包括電子束調(diào)節(jié)裝置和一個聚焦偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)；以及探測器系統(tǒng)。近些年來，掃描電子顯微鏡廣 泛的應用于半導體的器件制造；而隨著半導體制造技術工藝要求的不斷提高， 必然要對掃描電子顯微鏡的性能提出更高的要求。在掃描電子顯微鏡中，電子源的性能對于掃描電子顯微鏡的分辨率有最直 接的影響。目前，具有較高分...
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