技術編號：2934301
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及 一 種用于控制磁控管用的高壓電源發(fā)電機的方法和裝置，該磁控管用于隔離層的冷等離子體(cold-plasma)沉積 (deposition)。本發(fā)明還涉及一種使用上述裝置以用于隔離層的冷等 離子體沉積的機器。背景技術在現有技術中，已經描述了一些方法，在這些方法中，在將源氣 體(precursor gases)，甚至氣體混合物，例如基于碳和/或珪的，注 入到由塑料例如PET制成的中空體(hollow body)之后，以適于產 生導致隔離層形成的冷等...
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